? ? ? ?針對現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供了一種采用金剛石劃片機制備脊形光波導(dǎo)的方法，可以制備出高性能、低損耗、微米級的光波導(dǎo)，并且更好地保持晶體非線性和光增益特性，不受掩膜線的限制。

　　金剛石劃片機采用如下技術(shù)方案:

　　金剛石劃片機涉及一種采用金剛石劃片機制備脊形光波導(dǎo)的方法，包括以下步驟:

　　(1)清洗平面光波導(dǎo)，去除表層的有機污染物和無機顆粒，平面光波導(dǎo)的長度優(yōu)選為2-4厘米，寬度優(yōu)選為0.5-2~4厘米；

　　(2)將刀片安裝在金剛石劃片機的刀架上；

　　(3)將藍色薄膜熱粘接到平面光波導(dǎo)的背面，粘接后要求均勻無氣泡，粘接后的平面光波導(dǎo)的粘接面固定安裝在金剛石劃片機的真空吸附操作面板上；

　　(4)調(diào)整光波導(dǎo)的位置，根據(jù)波導(dǎo)要求設(shè)定切割深度、進給速度和刀片轉(zhuǎn)速；

　　(5)用金剛石劃片機在平面光波導(dǎo)的上表層刻出凹槽，制備脊形光波導(dǎo)，脊形光波導(dǎo)的寬度x為2-50微米，凹槽的深度為20-200微米，寬度w為50-200μm。制備的脊形光波導(dǎo)的寬度x可以通過調(diào)節(jié)刀片的位置來調(diào)節(jié)，優(yōu)選刀片的寬度與凹槽的寬度w一致；

　　(6)將得到的脊形光波導(dǎo)從藍膜或襯底上去除，對垂直于脊形光波導(dǎo)的兩個端面進行光學(xué)拋光，對樣品進行光傳輸實驗，測試脊形光波導(dǎo)的性能，波導(dǎo)的兩個端面用光纖端面耦合，用紫外膠凝固，光纖跳線的兩端分別作為輸入和輸出端，可以制備光量子芯片。

　　金剛石劃片機具有精度高、切割深度準(zhǔn)確的優(yōu)點。通過金剛石劃片機直接加工鈮酸鋰或釔鋁石榴石平面光波導(dǎo)，在劃片的同時，刀片可以碾磨拋光脊結(jié)構(gòu)的側(cè)面，形成鏡面。金剛石劃片機制備的脊形波導(dǎo)的寬度由金剛石劃片機程序控制，不需要額外的掩膜和微加工工藝，簡化了加工步驟，有利于提高生產(chǎn)率。