? 磁場發(fā)生裝置是用于半導體晶片的磁流變拋光設備中的核心裝置，并且用于產(chǎn)生在拋光區(qū)域中具有特定分布的梯度磁場。磁場發(fā)生裝置的性能在限制磁流變拋光設備的加工能力方面起著決定性的作用。在半導體晶片的磁流變平面拋光中，永磁體簇磁場發(fā)生器可以有效地考慮拋光效率和拋光質量。

? 介質中磁場分布的解析模型，分析了各個參數(shù)對磁場的影響。在此基礎上，研究磁場發(fā)生裝置的參數(shù)優(yōu)化問題，確定了最佳的設計參數(shù)和永磁極整理方法，最后完成磁場發(fā)生裝置的設計與制造。

??長春市英普磁電技術開發(fā)有限公司是從事磁學，磁電儀器設備，磁應用技術開發(fā)和生產(chǎn)的研發(fā)性生產(chǎn)公司。本公司于2002年成立，具有從事磁電技術開發(fā)多年的科技人員和生產(chǎn)技術人員，研制并生產(chǎn)出各種磁場源、磁測儀器、磁電設備、磁應用等產(chǎn)品，已形成多種產(chǎn)品系列，廣泛應用于國內(nèi)外各地的生產(chǎn)公司、計量測試部門、高等院校、科研單位，在磁電行業(yè)建立了雄厚的用戶群體，服務于清華大學、吉林大學、南京大學、山東大學、復旦大學、北京科技大學、浙江大學等著名學府以及中國計量科學研究院、中科院物理所、中科院半導體所等重點研究機構。