文章摘要: ? ? ? ?在玻璃/PC/PMMA基板上形成高精度光學(xué)多層膜的電子束蒸發(fā)鍍膜機(jī);通過組合各種滿足客戶需求的組件,可以形成質(zhì)量更好的薄膜?;鍌慵懿捎眯D(zhuǎn)模式(公轉(zhuǎn)),減少振動(dòng)和顆粒,使基板穩(wěn)定旋轉(zhuǎn)。電子束蒸發(fā)鍍膜機(jī)采用電子束加熱,不用坩堝上的片作為蒸發(fā)源
? ? ? ?在玻璃/PC/PMMA基板上形成高精度光學(xué)多層膜的電子束蒸發(fā)鍍膜機(jī);通過組合各種滿足客戶需求的組件,可以形成質(zhì)量更好的薄膜?;鍌慵懿捎眯D(zhuǎn)模式(公轉(zhuǎn)),減少振動(dòng)和顆粒,使基板穩(wěn)定旋轉(zhuǎn)。
電子束蒸發(fā)鍍膜機(jī)采用電子束加熱,不用坩堝上的片作為蒸發(fā)源,可以穩(wěn)定地形成多層薄膜;利用我公司獨(dú)特的比例控制方法和多點(diǎn)在線監(jiān)測,可以形成高精度、穩(wěn)定的光學(xué)多層膜;可以使用可操作性好的電梯來取出基板傘架。
電子束蒸發(fā)鍍膜機(jī)采用均勻分布的高離子電流密度離子源,配備雙電子槍,可在多點(diǎn)和環(huán)形坩堝中鍍100層以上,采用自動(dòng)蒸發(fā)控制系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)蒸發(fā)過程。工件架可以是鐘罩式或行星式。
電子束蒸發(fā)鍍膜機(jī)薄膜測試標(biāo)準(zhǔn):
1.電子束蒸發(fā)鍍膜機(jī)初始接觸角范圍為115°±5°;
2.電子束蒸發(fā)鍍膜機(jī)鋼絲絨摩擦阻力測試標(biāo)準(zhǔn):使用0000#鋼絲絨,面積10*10mm,行程40次/min,負(fù)載1Kg,往返摩擦5000次后接觸角大于100°;
3.電子束蒸發(fā)鍍膜機(jī)皮擦測試標(biāo)準(zhǔn):直徑6mm皮擦,行程25次/min,負(fù)載1Kg,往返摩擦2500次后接觸角大于100°;
備注:試樣的玻璃應(yīng)是經(jīng)過拋光的觸摸屏蓋板專用玻璃,表層光滑。
電子束蒸發(fā)鍍膜機(jī)優(yōu)點(diǎn):
1.電子束蒸發(fā)鍍膜機(jī)提高沉積速率以獲得更高的產(chǎn)量;
2.電子束蒸發(fā)鍍膜機(jī)在半導(dǎo)體、光電子和光子學(xué)領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)高精度工藝;
3.電子束蒸發(fā)鍍膜機(jī)堅(jiān)固耐用,易于維護(hù)。
電子束蒸發(fā)鍍膜機(jī)的優(yōu)點(diǎn)
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