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質(zhì)量流量計廠家:氣體質(zhì)量流量計的特色和原理介紹

發(fā)布時間:2024-04-07 22:48:13 來源:互聯(lián)網(wǎng) 分類:電氣知識

文章摘要: ?????? 質(zhì)量流量計廠家:質(zhì)量流量控制器,簡稱MFC,為了實現(xiàn)高精尖端制程中對氣體的用量精準(zhǔn)控制,氣體質(zhì)量流量計應(yīng)運而生。針對氣體流量計存在著量程比小的問題,量程下限以下的流量基本丟失,然而這在某些領(lǐng)域不可接受,在燃氣等貿(mào)易結(jié)算場合更是無法忍受。

?????? 質(zhì)量流量計廠家:質(zhì)量流量控制器,簡稱MFC,為了實現(xiàn)高精尖端制程中對氣體的用量精準(zhǔn)控制,氣體質(zhì)量流量計應(yīng)運而生。針對氣體流量計存在著量程比小的問題,量程下限以下的流量基本丟失,然而這在某些領(lǐng)域不可接受,在燃氣等貿(mào)易結(jié)算場合更是無法忍受。氣體質(zhì)量流量計的出現(xiàn),圓滿地解決了這個問題。


質(zhì)量流量計廠家:氣體質(zhì)量流量計

氣體質(zhì)量流量計的特色:

?????? 1.復(fù)合氣體/復(fù)合流量功能-氣體種類和全流量可以由客戶更改。
?????? 2.可變PID功能提供全流量范圍高速響應(yīng)時間(在一秒以內(nèi))。
?????? 3.緊湊型氣路-不需要調(diào)壓閥,壓力傳感器和過濾器。
?????? 4.穩(wěn)定氣體流量控制,不受上流和下流壓力的影響。
?????? 5.集成進氣端壓力傳感器。
?????? 6.自身多種顯示。
?????? 7.精度保證1%設(shè)定流量。

質(zhì)量流量計廠家:氣體質(zhì)量流量計的原理

?????? 氣體流量計采用熱擴散原理,熱擴散技術(shù)是一種在苛刻條件下性能優(yōu)良、可靠性高的技術(shù)。其典型傳感元件包括兩個熱電阻(鉑RTD),一個是速度傳感器,一個是自動補償氣體溫度變化的溫度傳感器。當(dāng)兩個RTD被置于介質(zhì)中時,其中速度傳感器被加熱到環(huán)境溫度以上的一個恒定的溫度,另一個溫度傳感器用于感應(yīng)介質(zhì)溫度。

?????? 流經(jīng)速度傳感器的氣體質(zhì)量流量是通過傳感元件的熱傳遞量來計算的。氣體流速增加,介質(zhì)帶走的熱量增多。使傳感器溫度隨之下降。為了保持溫度的恒定,則必須增加通過傳感器的工作電流,此增加的部分電流大小與介質(zhì)的流速成正比。質(zhì)量流量控制器由流量傳感器、分流器通道、流量調(diào)節(jié)閥和放大控制電路等部件組成,質(zhì)量流量計由流量傳感器、分流器通道放大電路等部件組成。氣體通過質(zhì)量流量控制器(質(zhì)量流量計)時,大部分氣體通過分流器,少量氣體流過流量傳感器。

?????? 質(zhì)量流量計廠家:流量傳感器采用毛細管傳熱溫差量熱法原理,電橋?qū)z測的流量信號轉(zhuǎn)換為電信號。電信號經(jīng)放大器放大為0~5VDC,放大后的流量檢測電壓與設(shè)定電壓進行比較,再將比較后的差值電壓放大后去驅(qū)動控制閥門,PID閉環(huán)控制,使流過通道的流量與設(shè)定的流量相等。

質(zhì)量流量計廠家:氣體質(zhì)量流量計的特色和原理介紹

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