文章摘要: 石英玻璃是二氧化硅單一成分的非晶態(tài)材料,其微觀結(jié)構(gòu)是一種由二氧化硅四面結(jié)構(gòu)體結(jié)構(gòu)單元組成的單純網(wǎng)絡(luò),由于Si-O化學(xué)鍵能很大,結(jié)構(gòu)很緊密,所以石英玻璃具有獨特的性能,尤其透明石英玻璃的光學(xué)性能非常優(yōu)異,在紫外到紅外輻射的連續(xù)波長范圍都有優(yōu)良的透
石英玻璃是二氧化硅單一成分的非晶態(tài)材料,其微觀結(jié)構(gòu)是一種由二氧化硅四面結(jié)構(gòu)體結(jié)構(gòu)單元組成的單純網(wǎng)絡(luò),由于Si-O化學(xué)鍵能很大,結(jié)構(gòu)很緊密,所以石英玻璃具有獨特的性能,尤其透明石英玻璃的光學(xué)性能非常優(yōu)異,在紫外到紅外輻射的連續(xù)波長范圍都有優(yōu)良的透射比。
石英玻璃采用高純度的硅砂作為原料,制作的傳統(tǒng)方法是熔融-淬滅方法(加熱材料到熔化溫度,然后快速冷卻到玻璃的固態(tài)相);制作超高純度和紫外透射比的透明玻璃需硅的汽化、氧化成二氧化硅并加熱溶解等過程。
石英玻璃的形成是由于其熔體高溫黏度很高引起的結(jié)果。用于制作半導(dǎo)體、電光源器、半導(dǎo)通信裝置、激光器,光學(xué)儀器,實驗室儀器、電學(xué)設(shè)備、醫(yī)療設(shè)備和耐高溫耐腐蝕的化學(xué)儀器、化工、電子、冶金、建材以及國防等工業(yè),應(yīng)用十分廣泛。
隨著半導(dǎo)體技術(shù)的發(fā)展,石英玻璃被廣泛的用于半導(dǎo)體生產(chǎn)的各項工序中。比如,直拉法把多晶轉(zhuǎn)化成單晶硅;清洗時用的清洗槽;擴散時用的擴散管、刻槽舟;離子注入時用的鐘罩等等。
石英玻璃簡介
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