真空計(jì)是測(cè)量真空系統(tǒng)中氣體壓力的儀器，種類繁多。這里介紹的復(fù)合真空計(jì)是普遍的一種，由熱電偶真空計(jì)和熱陰極電離真空計(jì)組成。

　　熱電偶真空計(jì)的原理

　　熱電偶真空計(jì)管由玻璃制成，通過(guò)小管與真空系統(tǒng)相連。測(cè)量管中的兩根導(dǎo)線上有熱絲，另外兩根導(dǎo)線上焊接有一對(duì)熱電偶。熱電偶的另一端與A點(diǎn)的熱線焊接在一起。

　　由于氣體的導(dǎo)熱系數(shù)與低壓時(shí)的壓力成正比，所以在流過(guò)熱線的電流不變(90 ~ 150毫安)的情況下，熱絲的溫度隨著表管內(nèi)真空度的增加而升高，熱電偶的電動(dòng)勢(shì)也相應(yīng)增加。因此，測(cè)量系統(tǒng)的真空度可以通過(guò)測(cè)量熱電偶的電動(dòng)勢(shì)來(lái)確定，熱電偶真空計(jì)就是根據(jù)這個(gè)原理制作的。熱電偶真空計(jì)電離真空計(jì)的測(cè)量范圍為1 ~ 5× 10-2 pa。

　　陰極電離真空計(jì)的原理

　　電離真空計(jì)管是一個(gè)三極管，通過(guò)B管與真空系統(tǒng)相連。運(yùn)行時(shí)，5毫安的電流通過(guò)燈絲電路，燈絲加熱后發(fā)出電子。因?yàn)闁艠O是正電壓，電子被加速，與中間的氣體分子碰撞。氣體密度越高，碰撞幾率越大，產(chǎn)生的正離子越多。此外，由于極板電壓為負(fù)，在極板電路中，正離子被吸引形成極板電流Ip。氣體分子密度越高，板電流越大，反之亦然。因此，可以通過(guò)測(cè)量平板電流來(lái)確定氣體的壓力，熱陰極電離真空計(jì)就是根據(jù)這一原理制成的。陰極電離真空計(jì)是一種測(cè)量很高真空的儀器，測(cè)量范圍為1×10-2 ~ 1×10-5帕。注意:一旦測(cè)量結(jié)束，立即關(guān)閉電離真空計(jì)的燈絲，這樣可以延長(zhǎng)真空計(jì)的使用年限。

　　如何使用復(fù)合真空計(jì)

　　復(fù)合真空計(jì)是以上兩種真空計(jì)的組合?，F(xiàn)在常用的型號(hào)有K型和FZH型，使用方法基本相同。其余屬于熱陰極電離真空計(jì)，熱電偶真空計(jì)和電離真空計(jì)已焊接在真空系統(tǒng)上。測(cè)量時(shí)，每根電纜都連接復(fù)合真空計(jì)，使用前或停止運(yùn)行時(shí)，應(yīng)關(guān)閉面板上的所有開(kāi)關(guān)。