鑫立離子源廠家推薦離子源中和器的分類和功能

????? 中和器向由離子源引出的離子束發(fā)射電子，以中和電子束電流和電子束電荷。 離子源柵格引出帶正電的離子束。 為了避免電荷積聚在目標(biāo)或處理表層上，必須中和離子束電流。 為了減少離子束中的空間電荷以繼續(xù)提取離子并減小羽流擴散角，必須中和離子束電荷。 因此，必須在放電室和柵極的外部安裝中和器，以向離子束發(fā)射等于束流的電子電流。

??????根據(jù)工作方式，可將離子源中和器分為三種：外部熱陰極中和器，浸入式熱陰極中和器和等離子橋中和器。 前兩種類型將熱陰極發(fā)射體放置在離子束的內(nèi)部和外部。 當(dāng)放置在室外時，中和器需要施加較高的負(fù)耦合電壓。 由束狀離子和中性原子進行電荷交換而產(chǎn)生的離子將轟擊并更嚴(yán)重地濺射。 當(dāng)放置在內(nèi)部時，盡管耦合電壓很低，但它會受到電子束轟擊而直接濺射。 這兩種類型的中和器的使用年限非常短，只有幾十個小時。 等離子體橋中和器使用帶有推進劑氣體的空心陰極在放電過程當(dāng)中同時生成電子和離子。 當(dāng)陰極受到反轟時，大多數(shù)離子與電子結(jié)合形成氣體。 少量離子與電子一起傳輸?shù)诫x子束。 這些離子可以中和大多數(shù)電子形成的空間電荷，并充當(dāng)電子進入離子束的“橋梁”。 下降耦合電壓，并使中和器遠(yuǎn)離子光束。 等離子橋中和器的使用年限可以達(dá)到10,000 h以上，從而大大提高了離子源的維護周期和使用年限。