文章摘要: 凈化工程是指控制產(chǎn)品 (如硅芯片等) 所接觸大氣的潔凈度及溫濕度。使產(chǎn)品能在一個良好的環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造。此環(huán)境空間的設(shè)計施工過程即可稱為凈化工程。凈化工程原理:亂流潔凈室亂流潔凈室的主要特色是從來流到出流(從送風(fēng)口到回風(fēng)口)之間氣流的流通截
凈化工程是指控制產(chǎn)品 (如硅芯片等) 所接觸大氣的潔凈度及溫濕度。使產(chǎn)品能在一個良好的環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造。此環(huán)境空間的設(shè)計施工過程即可稱為凈化工程。
凈化工程原理:亂流潔凈室
亂流潔凈室的主要特色是從來流到出流(從送風(fēng)口到回風(fēng)口)之間氣流的流通截面是變化的。潔凈室截面比送風(fēng)口截面大得多,因而不可在全室截面或者在全室工作區(qū)截面形成勻速氣流。所以,。送風(fēng)口以后的流線彼此有很大或者越來越大的夾角,。曲率半徑很小,。氣流在室內(nèi)不可能以單一方向流動,將會彼此撞擊,將有回流、旋渦產(chǎn)生。這就決定亂流潔凈室的流態(tài)實質(zhì)是:突變流;。非均勻流。
這比用紊流來描述亂流潔凈室更確切、。紊流主要決定于雷諾數(shù),。也就是主要受流速的影響,。但是如果采用一個過濾器的送風(fēng)形式,。則即使流速低,。也要產(chǎn)生上述各種結(jié)果,。這就因為它是一個突變流和非均勻流。因此這種情況下不僅有流層之間因紊流流動而發(fā)生的摻混,。而且還有全室范圍內(nèi)的大的回流、。旋渦所發(fā)生的摻混。
空氣由空調(diào)箱經(jīng)風(fēng)管與潔凈室內(nèi)之空氣過濾器(HEPA) 進(jìn)入潔凈室,。并由潔凈室兩側(cè)隔間墻板或高架地板回風(fēng)。。氣流非直線型運動而呈不規(guī)則之亂流或渦流狀態(tài)。。此型式適用于潔凈室等級1,000-100,000級。
凈化工程;優(yōu)點:構(gòu)造簡單、。系統(tǒng)建造成本低,。潔凈室的擴充比較容易,。在某些特殊用途場所,可并用無塵工作臺,提高潔凈室等級。
凈化工程;缺點:亂流造成的微塵粒子于室內(nèi)空間飄浮不易排出,。易污染制程產(chǎn)品。。另外若系統(tǒng)停止運轉(zhuǎn)再激活。,欲達(dá)需求之潔凈度,。往往須耗時相當(dāng)長一段時間。
凈化工程作用;控制產(chǎn)品 (如硅芯片等) 所接觸之大氣的潔凈度及溫濕度,使產(chǎn)品能在一個良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造。此空間的設(shè)計施工過程即可稱為凈化工程。。
凈化工程介紹
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