文章摘要: 氣冷羅茨泵一般以真空單元的形式出現(xiàn)。由于普通羅茨泵不可在常壓和高壓下啟動并直接排放大氣,因此需要配備前級泵。但并不是所有的羅茨泵都需要前置泵才能啟動,比如氣冷羅茨泵、濕式氣冷羅茨泵、多級氣冷羅茨泵。普通羅茨泵只能在6000Pa左右甚至更低的壓力下
氣冷羅茨泵一般以真空單元的形式出現(xiàn)。由于普通羅茨泵不可在常壓和高壓下啟動并直接排放大氣,因此需要配備前級泵。但并不是所有的羅茨泵都需要前置泵才能啟動,比如氣冷羅茨泵、濕式氣冷羅茨泵、多級氣冷羅茨泵。
普通羅茨泵只能在6000Pa左右甚至更低的壓力下啟動,并且只能在某些環(huán)境下才能穩(wěn)定的大抽速。由于普通羅茨泵沒有內(nèi)壓縮特性,氣體排放是通過外壓縮實(shí)現(xiàn)的。過大的壓差和在高壓下工作會使真空泵負(fù)荷過高,使轉(zhuǎn)子在壓縮過程當(dāng)中產(chǎn)生的過多熱量無法散發(fā),會發(fā)生過度膨脹,造成轉(zhuǎn)子與泵腔之間的間隙消失,進(jìn)而被卡住。
針對這一問題,氣冷羅茨泵利用冷卻氣體直接對轉(zhuǎn)子進(jìn)行冷卻,從而下降轉(zhuǎn)子的溫度以及轉(zhuǎn)子與泵腔的溫差,避免轉(zhuǎn)子過度膨脹,實(shí)現(xiàn)高壓差高壓縮比下的運(yùn)行。因此,可以在大氣壓下單獨(dú)使用,也可以串聯(lián)幾個單元來提高真空度。
氣冷羅茨泵與普通氣冷羅茨泵在結(jié)構(gòu)和原理上沒有太大區(qū)別。主要布置連接到泵出口的冷卻器,冷卻氣體被引入泵體的兩側(cè)以冷卻轉(zhuǎn)子。采用這種結(jié)構(gòu),氣冷羅茨泵可以在大氣壓下直接啟動,獨(dú)立工作。當(dāng)空氣直接排出時(shí),氣冷羅茨泵的極限壓力約為1 10 4 Pa,串聯(lián)可獲得下限壓力。工作壓差可達(dá)88千帕左右。
羅茨泵,以其發(fā)明者的名字命名,是指一種可變?nèi)莘e真空泵,具有兩個反向同步旋轉(zhuǎn)的葉片式轉(zhuǎn)子。轉(zhuǎn)子之間以及轉(zhuǎn)子和泵殼內(nèi)壁之間有一個小間隙,彼此不接觸。它是真空鍍膜機(jī)獲得高真空的主要設(shè)備。對于在壓差下運(yùn)行的羅茨泵,不建議在冷卻前直接在極限壓力下運(yùn)行。在極端壓力下,由于真空泵旋轉(zhuǎn)過快,零氣體通過量不會通過氣體或外殼表層散發(fā)任何熱量。由于溫度突然升高,轉(zhuǎn)子與機(jī)殼之間的氣隙過小,泵就會停止轉(zhuǎn)動。在嚴(yán)重的情況下,這將造成真空泵完全失效。
氣冷羅茨泵不僅可以在大氣壓下直接工作,而且在高壓階段具有穩(wěn)定的抽氣速度曲線,可以大大縮短粗抽階段的抽氣時(shí)間。與其他直接排放空氣的油封泵相比,氣冷羅茨泵在高壓條件下具有良好的節(jié)能特性,是非常優(yōu)秀的設(shè)備。
氣冷羅茨泵的一些常識點(diǎn)
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