文章摘要: ? ? ? ?快速退火爐是一種節(jié)能的周期性退火爐。快速退火爐有專門設計的保溫層,采用行業(yè)內(nèi)高標準的高純陶瓷纖維高壓模塊,形成全纖維保溫爐襯。快速退火爐的加熱元件從材料到設計都經(jīng)過嚴格的質(zhì)量控制,熱效率高,實現(xiàn)快速加熱,快速完成退火熱處理過程。節(jié)能
? ? ? ?快速退火爐是一種節(jié)能的周期性退火爐??焖偻嘶馉t有專門設計的保溫層,采用行業(yè)內(nèi)高標準的高純陶瓷纖維高壓模塊,形成全纖維保溫爐襯。快速退火爐的加熱元件從材料到設計都經(jīng)過嚴格的質(zhì)量控制,熱效率高,實現(xiàn)快速加熱,快速完成退火熱處理過程。節(jié)能省電的優(yōu)勢更加突出。微電腦程序控制整個退火過程,實時自動計算退火過程所需功率,比去年同期節(jié)能節(jié)電30-50%。
快速退火爐一般采用碘鎢燈管作為加熱元件,升溫非常快??焖偻嘶馉t采用S型熱電偶測溫,控溫精度高<5℃??焖偻嘶馉t有真空裝置,可在各種氣氛下工作。應用范圍大大提高。標準配件:高溫手套1副,熱電偶1個,石英管1根,真空法蘭1套。可選配件:氧化鋁坩堝、石英坩堝、真空泵。
快速退火爐具有以下特色:1.使用溫度高;2.溫控精度高;3.操作簡單;4.易于維護
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快速退火爐需要定期維護,以確保其正常運行
快速退火爐主要用于高校實驗室和工礦公司,如真空、不同氣氛和空氣的不同環(huán)境下,不同材料的薄膜沉積、樣品快速熱處理、快速退火、硅化、擴散、結(jié)晶和致密化等。
快速退火爐維護注意事項:
1.快速退火爐在使用或長時間不用后,應在120℃左右烘烤1小時,在300℃左右烘烤2小時,以免爐子開裂。爐溫應盡可能不高于額定溫度,以免損壞加熱元件和爐襯。嚴禁將各種液體和溶解金屬直接倒入爐內(nèi),并保持爐內(nèi)清理。
2.如果在快速退火爐內(nèi)使用石英管,當溫度高于1000℃時,石英管的高溫部分會不透明。這叫析晶(也叫結(jié)晶),是連續(xù)熔化石英管的固有缺點,是正?,F(xiàn)象。
3.使用冷快速退火爐時,由于爐膛較冷,需要吸收大量熱量,因此低溫段升溫速率不易過快,各溫段溫度上升,升溫速率差不容易太大,所以在設定升溫速率時要充分考慮燒結(jié)材料的理化性能,避免出現(xiàn)噴料污染爐管的現(xiàn)象。
4.定期檢驗溫控快速退火爐系統(tǒng)的電氣連接部位是否接觸良好,并特別注意加熱元件的連接點是否緊固。
5.快速退火爐使用一段時間后,如果真空度下降,可以更換不銹鋼法蘭之間的耐高溫硅膠圈,或者重新安裝不銹鋼法蘭,或者更換和修理真空系統(tǒng),以提高系統(tǒng)的整體真空度。
6.在快速退火爐工作過程當中,如果控制偏差在300℃左右無法消除,溫度顯示值與程序給定值不一致或擺動過大,檢驗參數(shù)設置是否準確。
快速退火爐維護注意事項
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