電子顯微鏡，是以電子束為照明源，通過電子電流對樣品進(jìn)行透射或反射，再經(jīng)電磁透鏡多級放大后，在熒光屏上成像的大型儀器。經(jīng)過50多年的發(fā)展，它已經(jīng)成為現(xiàn)代科學(xué)技術(shù)中不可或缺的重要工具。電子顯微鏡技術(shù)的應(yīng)用是以光學(xué)顯微鏡為基礎(chǔ)的，那么電子顯微鏡的成像原理是什么?

　　電子顯微鏡成像的原理是什么:

　　電子顯微鏡通過用聚焦電子束掃描樣品表層來產(chǎn)生樣品表層的圖像。

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　　電子與樣品中的原子相互作用，產(chǎn)生各種包含樣品形貌和成分信息的信號。電子束通常以光柵掃描模式掃描，并且電子束的位置與檢測到的信號結(jié)合以生成圖像。

　　電子顯微鏡的分辨率優(yōu)于1納米。樣品可以在高真空、低真空、潮濕條件下(用環(huán)境掃描電子顯微鏡)和各種低溫或高溫下觀察。

　　普遍的電子顯微鏡模式是檢測由電子束激發(fā)的原子發(fā)射的二次電子?？梢蕴綔y到的二次電子數(shù)量取決于樣品的形貌和其他因素。

　　通過掃描樣品并用特殊的檢測器收集發(fā)射的二次電子，就可以生成顯示表層形貌的圖像。也可以產(chǎn)生樣品表層的高分辨率圖像，并且圖像是三維的，從而識別樣品的表層結(jié)構(gòu)。

　　以上內(nèi)容是對電子顯微鏡成像原理的介紹。電子顯微鏡是20世紀(jì)的一項重要科技發(fā)明。它是一種電子光學(xué)器件，利用電子與物質(zhì)相互作用產(chǎn)生的信號來確定晶體結(jié)構(gòu)、微觀結(jié)構(gòu)、化學(xué)成分、化學(xué)鍵和電子在微區(qū)的分布。常用的有透射電子顯微鏡和掃描電子顯微鏡。與光學(xué)顯微鏡相比，電子顯微鏡用電子束代替可見光，用電磁透鏡代替光學(xué)透鏡和熒光屏對不可見的電子束成像。