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上海石英玻璃硅片激光鉆孔打孔加工

200元2022-12-04 08:28:12
  • 北京華諾恒宇光能科技有限公司
  • 硅片切割打孔
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產(chǎn)地 北京 分類 硅片切割
切割加工最小縫隙 0.05mm 加工厚度范圍 0.1--2mm
加工方式 激光切割 品牌 HE
微信號(hào) 13011886131 服務(wù)范圍 全國(guó)
硅片大小加工范圍 300mm 聯(lián)系人 張經(jīng)理

上海石英玻璃硅片激光鉆孔打孔加工

硅片切割機(jī)又名硅片激光切割機(jī),激光劃片機(jī)。是激光劃片機(jī)在 電子行業(yè)硅基片的切割的又一新領(lǐng)域的應(yīng)用。激光劃片是利用高能激光束照射在工件表面,使被照射區(qū)域局部熔化、氣化、從而達(dá)到劃片的目的。因激光是經(jīng)專用光學(xué)系統(tǒng)聚焦后成為一個(gè)非常小的光點(diǎn),能量密度高,因其加工是非接觸式的,對(duì)工件本身無機(jī)械沖壓力,工件不易變形。熱影響極小,劃精度高,廣泛應(yīng)用于太陽能電池板、薄金屬片的切割和劃片


硅片激光切割設(shè)備的特點(diǎn):
·高配置:采用進(jìn)口光纖激光器,光束質(zhì)量更好(標(biāo)準(zhǔn)基模)、切縫更細(xì)(30μm)、邊緣更平整光滑。
·免維護(hù):整機(jī)采用國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)模塊化設(shè)計(jì),真正免維護(hù)、不間斷連續(xù)運(yùn)行、無消耗性易損件更換。
·操作方便:設(shè)備集成風(fēng)冷設(shè)置,設(shè)備體積更小,操作更簡(jiǎn)單。
·專用控制軟件:專為激光劃片機(jī)而設(shè)計(jì)的控制軟件,操作簡(jiǎn)單,能實(shí)時(shí)顯示劃片路徑。
·工作效率高:T型臺(tái)雙工位交替運(yùn)行,提高工作效率。

硅片的分類:
硅片規(guī)格有多種分類方法,可以按照硅片直徑:4寸、6寸、12寸、3英寸、2英寸;單晶生長(zhǎng)方法:?jiǎn)尉Ч杵?、多晶硅片;摻雜類型:N型、P型等參量和用途來劃分種類。

晶圓是半導(dǎo)體產(chǎn)品與芯片的基礎(chǔ)材料,半導(dǎo)體芯片產(chǎn)業(yè)的激光應(yīng)用工藝將會(huì)越來越多被發(fā)明出來,對(duì)于高精密的芯片產(chǎn)品,非接觸的光加工是最合適的方式。因此激光晶圓(硅片)切割的應(yīng)用會(huì)越來越多。

隨著硅半導(dǎo)體集成電路的廣泛應(yīng)用,硅半導(dǎo)體集成電路都要用到晶圓,傳統(tǒng)的晶圓切割方法,都是手工采用金剛石刀進(jìn)行切割,在晶圓上劃分出若干個(gè)圓環(huán),在劃分出的圓環(huán)上切割出面積相等或者近似相等的小圓弧體?;蛘卟捎玫氖欠蔷鶆驁A環(huán)、同一圓心角內(nèi)進(jìn)行切割的切割方法,這種晶圓切割方法的耗材大,經(jīng)常要更換刀具,切割出來的晶圓芯片相距的寬度比較大,不均勻,所能切割的材料單一,適用性差,效率低下。
因此晶圓激光切割的方法工作效率高、能精確地調(diào)整待切割晶圓的各個(gè)方向的位置、精度高、全自動(dòng)運(yùn)行,對(duì)晶圓切割的位置進(jìn)行準(zhǔn)確定位,切割出來的晶圓芯片均勻、美觀,能切割多種材料,適應(yīng)性強(qiáng),可以避免薄晶圓因切割破裂

激光切割技術(shù)集光學(xué)、精密機(jī)械、電子技術(shù)和計(jì)算機(jī)技術(shù)于一體,于傳統(tǒng)方法相比
1、加工速度快;2、窄切槽(20um-30um),晶圓利用率高;3、非接觸式加工,適合薄基圓;4、自動(dòng)化程度高,任意圖形切割。目前激光切割技術(shù)可以應(yīng)用于切割硅片、低k材料、發(fā)光二極管襯底、微機(jī)電系統(tǒng)和薄膜太陽能電池等光電及半導(dǎo)體材料。

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