蘇州智能傳感器硅片激光切割穿孔加工

200元2022-11-20 07:54:25
  • 北京華諾恒宇光能科技有限公司
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產(chǎn)地 北京 分類 硅片切割
切割加工最小縫隙 0.05mm 加工厚度范圍 0.1--2mm
加工方式 激光切割 品牌 HE
微信號(hào) 13011886131 服務(wù)范圍 全國(guó)
硅片大小加工范圍 300mm 聯(lián)系人 張經(jīng)理

蘇州智能傳感器硅片激光切割穿孔加工

硅片激光切割設(shè)備的特點(diǎn):
·高配置:采用進(jìn)口光纖激光器,光束質(zhì)量更好(標(biāo)準(zhǔn)基模)、切縫更細(xì)(30μm)、邊緣更平整光滑。
·免維護(hù):整機(jī)采用國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)模塊化設(shè)計(jì),真正免維護(hù)、不間斷連續(xù)運(yùn)行、無消耗性易損件更換。
·操作方便:設(shè)備集成風(fēng)冷設(shè)置,設(shè)備體積更小,操作更簡(jiǎn)單。
·專用控制軟件:專為激光劃片機(jī)而設(shè)計(jì)的控制軟件,操作簡(jiǎn)單,能實(shí)時(shí)顯示劃片路徑。
·工作效率高:T型臺(tái)雙工位交替運(yùn)行,提高工作效率。


硅片的分類:
硅片規(guī)格有多種分類方法,可以按照硅片直徑:4寸、6寸、12寸、3英寸、2英寸;單晶生長(zhǎng)方法:?jiǎn)尉Ч杵?、多晶硅片;摻雜類型:N型、P型等參量和用途來劃分種類。

傳統(tǒng)機(jī)械加工硅片的劣勢(shì):
傳統(tǒng)硅片切割方式是機(jī)械切割,速度慢、斷面平整性差、碎片多、不環(huán)保。硅是一種脆性材料,機(jī)械切割極易使邊緣產(chǎn)生破裂,造成硅表面彈性應(yīng)變區(qū)、位錯(cuò)網(wǎng)絡(luò)區(qū)和碎晶區(qū)的組成層損傷,甚至可能造成隱形裂紋,影響電性參數(shù)等危害。激光切割技術(shù)具有無接觸、無機(jī)械應(yīng)力、切縫寬度小、斷面平整光滑、精度高、速度快、性能穩(wěn)定等優(yōu)勢(shì);

晶圓是半導(dǎo)體產(chǎn)品與芯片的基礎(chǔ)材料,半導(dǎo)體芯片產(chǎn)業(yè)的激光應(yīng)用工藝將會(huì)越來越多被發(fā)明出來,對(duì)于高精密的芯片產(chǎn)品,非接觸的光加工是最合適的方式。因此激光晶圓(硅片)切割的應(yīng)用會(huì)越來越多。

1.激光切割、劃片是非機(jī)械式的,屬于非接觸式加工,可以避免出現(xiàn)芯片破碎和其他損壞現(xiàn)象。
2.激光切割、劃片采用的高光束質(zhì)量的光纖激光器對(duì)芯片的電性影響較小,可以提高更高的切割成品率。
3.激光切割速度為150mm/s。切割速度較快。
4.激光可以切割厚度較薄的晶圓,可以勝任不同厚度的晶圓劃片。
5.激光可以切割一些較為復(fù)雜的晶圓芯片,如六邊形管芯等。
6.激光切割不需要去離子水,不存在刀具磨損問題,可連續(xù)24小時(shí)作業(yè)。
7.激光具有很好的兼容性,對(duì)于不同的晶圓片,激光切割具有更好的兼容性和通用性。

激光切割技術(shù)集光學(xué)、精密機(jī)械、電子技術(shù)和計(jì)算機(jī)技術(shù)于一體,于傳統(tǒng)方法相比
1、加工速度快;2、窄切槽(20um-30um),晶圓利用率高;3、非接觸式加工,適合薄基圓;4、自動(dòng)化程度高,任意圖形切割。目前激光切割技術(shù)可以應(yīng)用于切割硅片、低k材料、發(fā)光二極管襯底、微機(jī)電系統(tǒng)和薄膜太陽能電池等光電及半導(dǎo)體材料。

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