? 根據(jù)鍍膜工藝原理，真空鍍膜機(jī)大概可分為以下幾種：真空蒸發(fā)鍍膜機(jī)、真空磁控濺射鍍膜機(jī)、多弧離子鍍鍍膜機(jī)等。其中，真空磁控濺射鍍膜機(jī)主要是利用輝光放電將氬離子沖擊到靶材表層，等離子體中的陽離子會(huì)加速到襯底的負(fù)極表層，使靶材的原子噴射沉積在襯底上形成薄膜。目前市場上普遍的一種真空磁控濺射鍍膜機(jī)由抽氣系統(tǒng)、真空室、真空室門等組成。工作時(shí)，真空室中的氣體被抽氣系統(tǒng)抽走，使真空室持續(xù)處于負(fù)壓真空狀態(tài)，從而保證基板鍍膜的質(zhì)量。工作結(jié)束后，工人需要打開真空室門，從真空室中取出襯底。真空室長期處于負(fù)壓狀態(tài)，真空室門很難打開。

　　鑒于現(xiàn)有技術(shù)的上述缺點(diǎn)，技術(shù)人員提供一種新型磁控濺射鍍膜機(jī)。它通過以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)的：該真空磁控濺射鍍膜機(jī)包括真空室，真空室上設(shè)置有門體，真空室上設(shè)置有抽氣口，真空室外部設(shè)置有與抽氣口連通的抽氣系統(tǒng)，門體與真空室轉(zhuǎn)動(dòng)連接，真空室上設(shè)置有助開組件，助開組件包括助開桿。其工作原理為，當(dāng)基板鍍膜后需要將基板從真空室中取出時(shí)，抽氣系統(tǒng)與真空室外部的抽氣口斷開；然后打開鎖定組件，然后工人將開啟輔助桿的一端壓離門體，并將開啟輔助桿壓向遠(yuǎn)離門體的方向。在按壓助開桿的端部遠(yuǎn)離門體的過程當(dāng)中，助開桿靠近門體的端部產(chǎn)生作用力，推動(dòng)門體打開，最終推動(dòng)門體打開。通過設(shè)置助開組件，當(dāng)鍍膜工作結(jié)束后需要取出基板時(shí)，工作人員只需在打開鎖緊組件后按壓助開桿，即可將門體推離真空室，進(jìn)而方便打開門體。

另外，在制作該磁控濺射鍍膜機(jī)要注意：助開桿靠近真空室的一端可轉(zhuǎn)動(dòng)地設(shè)有滾輪，門體上設(shè)有供滾輪滑動(dòng)的滑槽。助開桿上套裝有連桿，助開桿上設(shè)有用于將連桿固定在助開桿上的定位件。真空室還設(shè)有鎖緊組件，鎖緊組件包括固定設(shè)置在真空室上的固定件、固定設(shè)置在門體上的定位件和鎖緊螺栓，鎖緊螺栓的頭部抵靠在定位件遠(yuǎn)離固定件的一側(cè)。

綜上所述，該真空磁控濺射鍍膜機(jī)具有以下有益的技術(shù)效果：1.通過設(shè)置開啟輔助組件，當(dāng)鍍膜工作結(jié)束后需要取出基板時(shí)，工作人員只需在開啟鎖緊組件后按壓開啟輔助桿，即可將門體推離真空室，方便打開門體；2.通過優(yōu)化結(jié)構(gòu)，一方面減小了助開桿對(duì)門體的摩擦力，從而節(jié)省了按壓助開桿時(shí)所需的力氣；另一方面，輔助開啟桿本身的摩擦力減小，延長了輔助開啟桿的使用年限。