文章摘要: 真空泵在運(yùn)行時(shí),其工作強(qiáng)度應(yīng)滿足真空設(shè)備極限真空和工作壓力的要求。例如真空鍍膜要求真空度為110-5mmHg,真空泵制造廠家建議選用的真空泵應(yīng)至少為510-6mmHg。一般來說,真空泵的真空度挑選比真空設(shè)備高一半到一個(gè)數(shù)量級。準(zhǔn)確挑選其真空泵的工作點(diǎn)。每個(gè)泵
真空泵在運(yùn)行時(shí),其工作強(qiáng)度應(yīng)滿足真空設(shè)備極限真空和工作壓力的要求。例如真空鍍膜要求真空度為110-5mmHg,真空泵制造廠家建議選用的真空泵應(yīng)至少為510-6mmHg。一般來說,真空泵的真空度挑選比真空設(shè)備高一半到一個(gè)數(shù)量級。
準(zhǔn)確挑選其真空泵的工作點(diǎn)。每個(gè)泵都有一定的工作壓力范圍,例如擴(kuò)散泵為10-3~10-7mmHg。在如此寬的壓力范圍內(nèi),泵的泵送速度隨壓力而變化,其穩(wěn)定工作壓力范圍為510-4~510-6mmHg。因此,泵的工作點(diǎn)應(yīng)挑選在這個(gè)范圍內(nèi),不可在10-8mmHg下長時(shí)間工作。
真空泵在其工作壓力下,應(yīng)能排出真空設(shè)備過程當(dāng)中產(chǎn)生的所有氣體。準(zhǔn)確組合真空泵。由于真空泵的挑選性抽真空,有時(shí)一臺泵無法滿足抽真空要求,需要多臺泵組合補(bǔ)充才能滿足抽真空要求。如果將兩個(gè)真空泵結(jié)合起來,真空裝置將獲得更好的真空度。另外,有些真空泵不可在大氣壓下工作,需要預(yù)抽真空;有些真空泵出口壓力低于大氣壓,所以需要前置泵,所以都需要組合泵。
真空泵對油污的要求。如果設(shè)備嚴(yán)格要求無油,應(yīng)選用各種無油泵,如水環(huán)泵、分子篩吸附泵、濺射離子泵、低溫泵等。如果要求不嚴(yán)格,可以挑選有油泵,加一些防油污措施,比如加冷阱、擋板、油阱等。這也可以滿足清理真空的要求。
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真空泵制造廠家:真空泵的工作要求
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