干式真空泵（也稱干式機(jī)械泵）是指該泵在常壓下可啟動(dòng)抽氣，并可將抽吸的氣體直接排放到大氣中。泵腔內(nèi)無油或其他工作介質(zhì)，壓力等于或接近油封真空泵的機(jī)械真空泵。

截至2013年，真空行業(yè)使用的機(jī)械真空泵大多采用油、水或其他聚合物等流體作為泵的工作介質(zhì)，在泵內(nèi)具有冷卻、密封、潤(rùn)滑等多重功能。隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展和真空應(yīng)用領(lǐng)域的擴(kuò)大，原有的機(jī)械真空泵及其排氣系統(tǒng)有兩個(gè)迫切需要解決的問題：一是泵的工作介質(zhì)倒流，污染被抽真空容器，而這種回流在很多情況下，會(huì)影響產(chǎn)品的質(zhì)量和數(shù)量，增加設(shè)備的維護(hù)成本。其次，干式真空泵中的介質(zhì)由于某些過程當(dāng)中的反應(yīng)物而嚴(yán)重變質(zhì)，使泵無法正常運(yùn)轉(zhuǎn)。

對(duì)于普通的無油真空系統(tǒng)，雖然可以使用油封真空泵和冷阱或吸附阱等附件來避免回流，但不可徹底解決問題，使系統(tǒng)復(fù)雜化。使用合適類型的干式真空泵可以達(dá)到預(yù)期的效果。

干式真空泵應(yīng)用廣泛，主要表現(xiàn)在以下幾個(gè)方面：

1、低壓化學(xué)氣相沉積多晶硅制備工藝；

2、半導(dǎo)體蝕刻工藝。在這些生產(chǎn)過程當(dāng)中，經(jīng)常使用干式真空泵或產(chǎn)生腐蝕性氣體和磨料顆粒；

3、對(duì)于半導(dǎo)體工藝以外的一些會(huì)產(chǎn)生顆粒的工藝，預(yù)計(jì)顆粒不會(huì)混入干式真空泵的泵油中，預(yù)計(jì)顆粒會(huì)從泵中排出。某些類型的干式機(jī)械真空泵可以滿足要求；

4、化工、醫(yī)藥、食品等行業(yè)在蒸餾、干燥、脫氣、包裝過程當(dāng)中，應(yīng)避免有機(jī)溶劑造成污染，應(yīng)使用干式真空泵；

5、干式真空泵作為一般無油潔凈真空系統(tǒng)的前置泵，避免油污。