不同的廢氣處理設(shè)備對污染物的去除原理不同。通常，大多數(shù)工藝可以完全去除廢氣中的污染物。除臭的一般原理如下：洗滌法是用酸液或堿液中和吸收惡臭廢氣，對硫化氫、氨等酸堿氣體有很好的處理效果。耦合光催化法：紫外光與負(fù)載貴金屬的特殊耦合催化板配合，產(chǎn)生-OH自由基和活性O(shè)基團(tuán)，氧化分解惡臭污染物。生物法：生物法是利用微生物的異養(yǎng)作用，將惡臭污染物分解為微生物生長所需的營養(yǎng)物質(zhì)和其他小分子化合物，從而去除廢氣中的惡臭污染物。

低溫等離子體：低溫等離子體技術(shù)是近年來發(fā)展起來的廢氣處理設(shè)備新技術(shù)。其原理是，當(dāng)施加的電壓達(dá)到氣體的放電電壓時，氣體被分解，產(chǎn)生包括電子、各種離子、原子和自由基的混合物。這些活性粒子與廢氣中的污染物發(fā)生反應(yīng)，使污染物分子在極短的時間內(nèi)分解。吸附法：采用比表層積大的吸附劑吸附惡臭污染物?；钚蕴际亲畛Ｓ玫奈絼?，尤其是活性碳纖維棉，對惡臭氣體具有優(yōu)異的吸附效果。
廢氣處理設(shè)備的維護(hù)：這是一種基于廢氣凈化設(shè)備實(shí)際技術(shù)狀況的預(yù)防性維護(hù)方法。一般采用設(shè)備的日常例行檢驗(yàn)和定期檢驗(yàn)，了解設(shè)備的技術(shù)狀況。根據(jù)設(shè)備的劣化位置和程度，在故障發(fā)生前及時進(jìn)行預(yù)防性維護(hù)，消除隱患，恢復(fù)設(shè)備的功能和精度。根據(jù)廢氣處理設(shè)備磨損規(guī)律，提前確定維修類別、維修間隔、維修內(nèi)容和技術(shù)要求。維護(hù)計(jì)劃可以根據(jù)設(shè)備的計(jì)劃啟動時間安排很長時間。
廢氣處理設(shè)備的定期維修法適用于工藝生產(chǎn)設(shè)備、自動化生產(chǎn)線中的主要生產(chǎn)設(shè)備和連續(xù)運(yùn)行的動能生產(chǎn)設(shè)備，這些設(shè)備已經(jīng)完全掌握了設(shè)備磨損的規(guī)律，在生產(chǎn)過程當(dāng)中難以停止和維護(hù)。
廢氣處理設(shè)備事后維修方法：當(dāng)設(shè)備因不可再使用而出現(xiàn)故障或性能精度下降到合格水平以下時的計(jì)劃外維修，稱為事后維修，俗稱故障維修。廢氣處理設(shè)備發(fā)生故障后，往往會給生產(chǎn)造成很大損失，也給維修工作造成困難和被動。但是，對于一些停機(jī)后不會對生產(chǎn)造成損失的設(shè)備，采用事后維修的方法可能更經(jīng)濟(jì)。比如對于結(jié)構(gòu)簡單、利用率低、維修技術(shù)不復(fù)雜、維修配件獲取及時的設(shè)備，出現(xiàn)故障不會影響生產(chǎn)任務(wù)。
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