定制GC特氣柜氣瓶柜鋼瓶柜
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楊帆
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| 類別 | 黃頁 儀器儀表網(wǎng) | 品牌 | 其他 |
| 型號(hào) | 客戶定制 | 加工定制 | 是 |
| 來源 | 經(jīng)紀(jì)人 | ||
定制GC特氣柜氣瓶柜鋼瓶柜
1.? 特氣柜(GasCabinet)2.?? 特氣柜尺寸：800長×540寬×1800高3.??PN2入口壓力 80PSI，1/4 VCR接口GN2入口壓力 80PSI，1/4 VCR接口CDA入口壓力 4-10bar，1/4卡套接口VENT 1/2VCR接口工藝氣體出口1/4 VCR接口4.??特氣柜柜體換氣量:SiH4-1200次/小時(shí)，其余300次/小時(shí)5.??根據(jù)實(shí)際需要可安裝稱重、報(bào)警、加熱裝置6.??按操作方式分為：手動(dòng)切換、半自動(dòng)切換。7.??閥門盤配件全部采用進(jìn)口電子級(jí)材料，材質(zhì)為SS316L不銹鋼。8.??氣體管路及焊接件加工全部采用Swagelok自動(dòng)軌道焊機(jī)焊接。9.??氣體管路設(shè)計(jì)合理，具備抽空、回充、壓力指示、排放、檢漏、預(yù)留接口等。10. 完善的安全報(bào)警裝置，具有氣體泄漏檢測報(bào)警（如SiH4、PH3、HCL等泄漏報(bào)警）報(bào)警信號(hào)被觸發(fā)時(shí)，自動(dòng)切斷。11. 氣瓶柜設(shè)計(jì)美觀，緊湊，安全，質(zhì)優(yōu)價(jià)廉，可按照客戶要求定制。
特氣柜主要應(yīng)用在?為MOCVD、PECVD、刻蝕機(jī)等設(shè)備供應(yīng)有毒有害易燃易爆氣體上，涉及半導(dǎo)體、太陽能光伏、生物工程、微電子、化工等行業(yè)。
我們的特氣設(shè)備有：電子級(jí)特氣柜(GasCabinet或稱鋼瓶柜、氣瓶柜)，氣體流量控制箱(Gas Box by MFC),氣體配比箱(Gas Box by FlowMeter)，閥門箱（VMB）,閥門盤（VMP），氣體偵測器（GasDetector），廢氣處理設(shè)備(Scrubber)。我們的產(chǎn)品有：美國PARKER調(diào)壓閥、FPA接頭，日本JSK卡套接頭，日本FUJIKINVCR接頭，高純KUZE/ASFLOWBA/EP不銹鋼管，高純NKS壓力表，氣體壓力傳感器，氣體壓力開關(guān)，高純Parker/富士金隔膜閥，高純氣體過濾器， 氣體質(zhì)量流量計(jì)。?歡迎致電詳詢?
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