成都超邁 廠家直營生產(chǎn)刻蝕機免費設(shè)計 按需定制生產(chǎn)
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2024-08-14 15:50:12
刻蝕機作為微電子制造過程中的重要設(shè)備之一,其作用主要是通過化學(xué)或物理作用,在半導(dǎo)體表面刻蝕出微小的凹槽和溝槽,用于制造微電子器件。
刻蝕機的刻蝕過程和傳統(tǒng)的雕刻類似,先用光刻技術(shù)將圖形形狀和尺寸制成掩膜,再將掩膜與待加工物料模組裝好,將樣品置于刻蝕室內(nèi),通過化學(xué)腐蝕或物理磨蝕等方式將待加工物料表面的非掩膜區(qū)域刻蝕掉,以得到所需的凹槽和溝槽。
刻蝕機的刻蝕過程需要高精度的設(shè)備和控制,以保證芯片表面的加工精度和穩(wěn)定性。
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