GMPOWER電源 RF射頻電源匹配器維修 PG-1000

閆工 2025-05-09 13:30:13

GMPOWER電源 RF射頻電源匹配器維修 PG-1000
GMPOWER電源 RF射頻電源匹配器維修 PG-1000
GMPOWER電源 RF射頻電源匹配器維修 PG-1000
維修范圍:刻蝕、RIE、平行板、ICP、pecvd、射頻濺射、CVD 和PVD等系統(tǒng),工業(yè)系統(tǒng)中感應(yīng)加熱和電介質(zhì)加熱設(shè)備的電源,烘干、塑化、硅晶體生長和平板顯示器領(lǐng)域應(yīng)用電源,直流偏壓和硬鍍膜,信息設(shè)備(ITE)及輕工業(yè)系統(tǒng)、鍍膜設(shè)備。 從事大功率射頻RF電源及匹配器維修,為太陽能光伏、半導(dǎo)體、液晶面板、鍍膜行業(yè)維修PVD、CVD、PECVD、MOCVD、ION IMP設(shè)備電源,包括直流、高壓、脈沖、微波、匹配器、RPSC、CHILLER射頻電源維修。

主要服務(wù)于太陽能光伏、PVD鍍膜,半導(dǎo)體薄膜、離子注入、刻蝕,平板顯示,光盤、光電子LED等制造工藝以及科研院校、技術(shù)研究所等設(shè)備的高壓、直流、射頻電源。主要包括高壓電源HV PSU、射頻電源RFG、匹配網(wǎng)絡(luò)RF Match、直流電源DC POWER、溫度控制器Thermo Chiller,微波發(fā)生器等,提供設(shè)備維護維修保養(yǎng)整包、批量產(chǎn)品維修。

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