北京智能傳感器硅片切盲槽打孔加工

200元2022-12-07 07:57:02
  • 北京華諾恒宇光能科技有限公司
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詳情

產(chǎn)地 北京 分類 硅片切割
切割加工最小縫隙 0.05mm 加工厚度范圍 0.1--2mm
加工方式 激光切割 品牌 HE
微信號 13011886131 服務(wù)范圍 全國
硅片大小加工范圍 300mm 聯(lián)系人 張經(jīng)理

北京智能傳感器硅片切盲槽打孔加工

硅片切割機又名硅片激光切割機,激光劃片機。是激光劃片機在 電子行業(yè)硅基片的切割的又一新領(lǐng)域的應(yīng)用。激光劃片是利用高能激光束照射在工件表面,使被照射區(qū)域局部熔化、氣化、從而達到劃片的目的。因激光是經(jīng)專用光學系統(tǒng)聚焦后成為一個非常小的光點,能量密度高,因其加工是非接觸式的,對工件本身無機械沖壓力,工件不易變形。熱影響極小,劃精度高,廣泛應(yīng)用于太陽能電池板、薄金屬片的切割和劃片


傳統(tǒng)機械加工硅片的劣勢:
傳統(tǒng)硅片切割方式是機械切割,速度慢、斷面平整性差、碎片多、不環(huán)保。硅是一種脆性材料,機械切割極易使邊緣產(chǎn)生破裂,造成硅表面彈性應(yīng)變區(qū)、位錯網(wǎng)絡(luò)區(qū)和碎晶區(qū)的組成層損傷,甚至可能造成隱形裂紋,影響電性參數(shù)等危害。激光切割技術(shù)具有無接觸、無機械應(yīng)力、切縫寬度小、斷面平整光滑、精度高、速度快、性能穩(wěn)定等優(yōu)勢;

激光加工的應(yīng)用
激光加工技術(shù)應(yīng)用廣泛,且在很多行業(yè)都已經(jīng)很成熟,比如航空航天、新能源鋰電、光伏太陽能、顯示與半導體、PCB行業(yè)、電子信息行業(yè)、機械五金行業(yè)、家電廚衛(wèi)行業(yè)、鈑金加工行業(yè)、包裝行業(yè),以及電子煙行業(yè)等領(lǐng)域,對于提高勞動生產(chǎn)率、提高產(chǎn)品質(zhì)量、實現(xiàn)自動化生產(chǎn)、保護環(huán)境、減少材料資源消耗、降低生產(chǎn)成本等起著十分重要的作用。

激光屬于無接觸式加工,不對晶圓產(chǎn)生機械應(yīng)力的作用,對晶圓損傷較小。由于激光在聚焦上的優(yōu)點,聚焦點可小到微米數(shù)量級,從而對晶圓的微處理更具有優(yōu)越性,可以進行小部件的加工;即使在不高的脈沖能量水平下,也能得到較高的能量密度,有效地進行材料加工。大多數(shù)材料吸收激光直接將硅材料氣化,形成溝道。從而實現(xiàn)切割的目的因為光斑點較小,最低限度的炭化影響。

激光切割技術(shù)集光學、精密機械、電子技術(shù)和計算機技術(shù)于一體,于傳統(tǒng)方法相比
1、加工速度快;2、窄切槽(20um-30um),晶圓利用率高;3、非接觸式加工,適合薄基圓;4、自動化程度高,任意圖形切割。目前激光切割技術(shù)可以應(yīng)用于切割硅片、低k材料、發(fā)光二極管襯底、微機電系統(tǒng)和薄膜太陽能電池等光電及半導體材料。

晶圓是制造IC的基本原料,而晶圓便是硅元素加以純化,接著將這些純硅制成長硅晶棒,成為制造積體電路的石英半導體的材料,再經(jīng)過照相制版、研磨、拋光、切片等程序,將多晶硅融解后拉出單晶硅晶棒,然后切割成一片一片薄薄的晶圓。

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